通電了，一切係統運行正常。但是這隻是第一步，說明這台光刻機啟動了起來，接下來，他們就要進行各項嚴苛的驗證和調試，隻有經過最嚴苛的測試後才知道這台機器有冇有達到設計標準，隻有達到了設計標準，才能真正的定型生產。